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日本喜開(kāi)理CKD發(fā)生器
  • 產(chǎn)品型號(hào):VSN?VSNM
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-04-26
  • 訪  問(wèn)  量:780
簡(jiǎn)要描述:

VSN?VSNM日本喜開(kāi)理CKD發(fā)生器
實(shí)現(xiàn)高速且穩(wěn)定響應(yīng)性的小型發(fā)生器單元。
小型、輕量,尤其實(shí)現(xiàn)了高度尺寸的緊湊化。
【噴嘴直徑】:0.4, 0.5, 0.6 (㎜)
【吸入流量】:2~9.5 (L/min(ANR))
行業(yè):半導(dǎo)體制造工序(后工序)

產(chǎn)品詳情

VSN?VSNM日本喜開(kāi)理CKD發(fā)生器

【小型、輕量】
適用于安裝空間有限的客戶。
產(chǎn)品高度緊湊化。

【高速且穩(wěn)定的響應(yīng)性】
主閥采用直動(dòng)閥,實(shí)現(xiàn)高速且穩(wěn)定的響應(yīng)性。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)

【4種壓力傳感器】
壓力傳感器備有4種模擬輸出類型。

型號(hào)名稱噴嘴直徑備注
VSN-H單品型?高真空?中流量型Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 
VSN-E單品型?高真空?小流量型Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 
VSNM-H集成型?高真空?中流量型Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 
VSNM-E集成型?高真空?小流量型Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 
VSNM-Z集成型?混合規(guī)格-

VSN?VSNM日本喜開(kāi)理CKD發(fā)生器注意事項(xiàng):

■ 請(qǐng)勿強(qiáng)拉或極度彎曲電磁閥及傳感器的導(dǎo)線。否則會(huì)導(dǎo)致斷線及接插件部損壞。
■ 壓縮空氣中含有大量冷凝水(水、氧化油、焦油、異物)。冷凝水會(huì)大幅降低產(chǎn)品的性能,因此請(qǐng)使用后冷卻器、干燥機(jī)進(jìn)行除濕,以提高空氣質(zhì)量。
■ 請(qǐng)勿使用油霧器。
■ 配管內(nèi)流入銹漬、異物會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品故障、誤動(dòng)作及性能降低。請(qǐng)?jiān)诠饪诘那懊姘惭b5μm以下的過(guò)濾器。此外,建議在使用前及每隔適當(dāng)?shù)臅r(shí)間對(duì)配管內(nèi)部進(jìn)行吹氣清洗。
■ 請(qǐng)避免在有腐蝕性氣體、可燃性氣體的場(chǎng)合使用。同時(shí),請(qǐng)避免將其作為流體使用。由于本產(chǎn)品并非防爆結(jié)構(gòu),存在爆炸起火的可能性。
■ 請(qǐng)勿在會(huì)沾染水滴、油滴、塵埃等的場(chǎng)所中使用。本產(chǎn)品為非防滴、防塵結(jié)構(gòu),因此可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品破損及性能降低。
■ 本產(chǎn)品的電磁閥導(dǎo)線存在極性。極性有誤時(shí)電磁閥將不動(dòng)作。
■ 連接真空(V)口的配管請(qǐng)選擇可確保充足的有效截面積的配管直徑和配管長(zhǎng)度。有效截面積不足時(shí),可能無(wú)法充分發(fā)揮吸入流量、真空破壞空氣流量等產(chǎn)品性能。
■ 連接供氣(PS、PV)口的配管請(qǐng)選擇可確保充足的有效截面積的配管直徑和配管長(zhǎng)度。有效截面積不足時(shí),壓縮空氣及真空的供給量不足,可能無(wú)法充分發(fā)揮產(chǎn)品性能。
■ 本產(chǎn)品不附帶真空過(guò)濾器。請(qǐng)務(wù)必同時(shí)使用本公司的真空過(guò)濾器系列。如不使用真空過(guò)濾器,吸入的塵埃等堆積在產(chǎn)品內(nèi)部,會(huì)導(dǎo)致真空性能降低(發(fā)生器系統(tǒng)適用單元)、電磁閥泄漏及動(dòng)作不良(發(fā)生器系統(tǒng)適用單元、真空泵系統(tǒng)適用單元)等問(wèn)題。
(推薦真空過(guò)濾器:VSFU系列、VSFJ系列)
■ 集成型可同時(shí)動(dòng)作的單元數(shù)受空氣供給量(供氣口尺寸、配管長(zhǎng)度、減壓閥處理流量等)及發(fā)生器耗氣量(真空特性)等諸多條件的限制。采用通過(guò)集成型進(jìn)行同時(shí)動(dòng)作的使用方法時(shí),請(qǐng)與本公司營(yíng)業(yè)所協(xié)商。
■ 集成型真空發(fā)生器中同時(shí)存在動(dòng)作的發(fā)生器和不動(dòng)作的發(fā)生器時(shí),真空發(fā)生時(shí)的排出空氣可能會(huì)迂回至不動(dòng)作的發(fā)生器中,從真空口中排出。這種情況下若工件重量較輕,則可能會(huì)發(fā)生吹走工件等問(wèn)題,因此請(qǐng)勿在會(huì)產(chǎn)生影響的條件下使用。
■ 本產(chǎn)品的電磁閥以連續(xù)運(yùn)行為主。連續(xù)通電超過(guò)15分鐘時(shí),請(qǐng)控制在10次/天以內(nèi)。此外,連續(xù)通電后請(qǐng)恢復(fù)成常規(guī)運(yùn)行。
■ 更換供氣(PS、PV)口、真空(V)口的圓形接頭時(shí),請(qǐng)去除密封部的附著物后切實(shí)插入定位銷。
■ 發(fā)生器系統(tǒng)適用單元的消音器濾芯及真空泵系統(tǒng)適用單元(單體)的濾芯附著大量塵埃時(shí),可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品性能降低。建議適時(shí)地對(duì)濾芯進(jìn)行清掃和更換。

 產(chǎn)品具體詳見(jiàn):VSN?VSNM喜開(kāi)理CKD發(fā)生器

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