日本喜開理CKD集成化供氣系統伊里德代理：省空間且提高了維護性的工藝氣體供給系統。從設計到制作均可根據客戶需要的流程進行。1.5inch，采用CS密封。

產品詳情

2006年1月，本公司集團制定了全新的企業理念及經營理念。并根據該企業理念及經營理念，于2007年4月制定了行動準則。為了明確集團公司的前進方向，新的企業理念明確確定為“流體控制與自動化的革新”，并積極為社會做貢獻。為實現企業理念，在經營理念里，將全體員工必須遵守的約定細分為5個項目，旨在建立全體員工都能負責執行的體制。依據企業理念及經營理念，在行動準則里，對全體員工應該遵守并實踐的具體事項加以規定。

日本喜開理CKD集成化供氣系統伊里德代理

省空間且提高了維護性的工藝氣體供給系統。從設計到制作均可根據客戶需要的流程進行。1.5inch，采用CS密封。

【集成單元】
通過緊湊集成標準化部件，構建工藝氣體供氣線。
實現了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設計到裝配、檢查完成后交付，可減少客戶的工時。

衍生系列

型號	名稱	內容	尺寸	配管方式	備注
IAGD3	集成化供氣系統	-	-	CS密封
MAGD3	集成化供氣系統用元件	氣控閥	1.5inch	-
MOGD3	集成化供氣系統用元件	手動閥	1.5inch	-
MFGD3	集成化供氣系統用元件	流量調節閥	1.5inch	-
MCGP3	集成化供氣系統用元件	單向閥	1.5inch	-

應用行業

半導體制造工序（前工序）
化學氣體供給設備用元件

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